Verônica de M. Andrade, Sávio M. Lopes, Rafael A. Raimundo, Ricardo F. Alves, Allan J.M. Araújo, Pamala S. Vieira, Fausthon F. da Silva, Marco A. Morales, Daniel A. Macedo, Duncan P. Fagg and Glageane da S. Souza
Materials Science in Semiconductor Processing, 2025, 195, 109643
DOI: 10.1016/j.mssp.2025.109643