Jânio S. Almeida, Walker Vinícius F.C. Batista, Ivan J.S. Junior, Manoel José M. Pires, João P. de Mesquita, Valmor R. Masteralo, Osmando F. Lopes, Márcio C. Pereira, Mariandry Rodriguez and Henrique A.J.L. Mourão
Materials Science in Semiconductor Processing, 2026, 205, 110342
DOI: 10.1016/j.mssp.2025.110342