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CMOS MEMS capacitive absolute pressure sensor

저자:
Narducci, M
저널명:
Journal of Micromechanics and Microengineering
ISSN:
0960-1317
날짜:
05.2013
 
권: 23   호: 5   페이지: 055007
DOI:
10.1088/0960-1317/23/5/055007

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