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Autor(en)
Corbella, Carles; Grosse-Kreul, Simon; Kreiter, Oliver; de los Arcos, Teresa; Benedikt, Jan; von Keudell, Achim
Artikel
Particle beam experiments for the analysis of reactive sputtering processes in metals and polymer surfaces
Titel
Review of scientific instruments.
Verlag
Optical Society of America,
Ort
Menasha, WI :
Erscheinungsjahr
1930-
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